四氟化碳，别名四氟甲烷。无色，不可燃气体，是稳定的有机化 合物之一。它是微电了工_业中用量大的等离子刻蚀气体。泛用于硅、 了氧化奋、氮化砖、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀;在电子 器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷剂、气体 绝缘等方面也人量应用。